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本发明提供了一种碳化硅籽晶托盘、晶体生长装置及生长方法，所述碳化硅籽晶托盘包括用于承载碳化硅籽晶的托盘本体，所述托盘本体为中空结构，所述托盘本体的内部设置有气体分流板，所述气体分流板的表面分布有若干出气通孔；所述托盘本体上还设置有中空籽晶轴...
该专利属于青禾晶元（天津）半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青禾晶元（天津）半导体材料有限公司授权不得商用。

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