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本发明涉及半导体技术领域，具体公开了一种非接触式测量装置及磨削设备。该非接触式测量装置包括支撑件、旋转机构和光学探头；旋转机构包括驱动电机、连接件、旋转轴、底板和摆臂，连接件和底板均设于支撑件上，驱动电机设于连接件上，且驱动电机的驱动端连接...
该专利属于宁波芯丰精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波芯丰精密科技有限公司授权不得商用。

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