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本发明公开了一种研磨垫调整器及研磨垫的调整方法，研磨垫调整器包括调整盘和位于调整盘外周的调整环，调整盘和调整环均具有适于调整研磨垫的修整面；调整盘在第一驱动机构作用下绕自身轴向做旋转运动、并在第一升降机构作用下做竖向升降运动，调整环在第二驱...
该专利属于北京晶亦精微科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京晶亦精微科技股份有限公司授权不得商用。

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