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文档序号:37376426

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表面处理装置具有:收纳处理液的处理槽(100A、100B);配置在处理槽内的阳极(142、152);将工件(W)垂下地保持并将工件设定为阴极的夹具(10);配置在阳极与工件之间的液体喷出部件(200);以及使液体喷出部件相对于工件移动的移动...
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