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本发明公开了一种新型结构的双面光掩膜版及其制作方法，包括以下步骤：清洗玻璃基板；在玻璃基板的两侧均镀上铬金属层；在正面旋涂上光刻胶；进行正面曝光；在玻璃基板背面贴上保护膜；对玻璃基板正面进行显影；对玻璃基板正面进行冲洗并蚀刻；去除玻璃基板正...
该专利属于深圳市路维光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市路维光电股份有限公司授权不得商用。

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