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一种GaAspHEMT芯片结温测试装置和测试方法制造方法及图纸
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文档序号:37370904
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本发明公开了一种GaAs pHEMT芯片结温测试装置和测试方法,测试装置包括:芯片承载模块,用于固定待测试芯片并形成一定环境温度的密闭空间;加热装置,设置于芯片承载模块底部,用于对芯片承载模块进行加热,可控温度范围为25
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该专利属于成都海威华芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都海威华芯科技有限公司授权不得商用。
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