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周期性铁电极化诱导的WSe2类超晶格光电探测器及其制备方法技术
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文档序号:37366896
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本发明公开了一种周期性铁电极化诱导的WSe2类超晶格光电探测器,包括衬底,背栅区,吸收区和源漏区,其中:背栅区位于衬底上,背栅区为具有周期性铁电畴的P(VDF
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该专利属于之江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室授权不得商用。
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