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本发明提供一种用于ICP设备的高度可调式感应线圈及调节方法，其属于半导体设备技术领域，所述用于ICP设备的高度可调式感应线圈包括设置于ICP设备的机台腔室盖板上的外层线圈和内层线圈，外层线圈和内层线圈均分别通过伸缩固定柱与机台腔室盖板相连接...
该专利属于盛吉盛半导体科技（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛吉盛半导体科技（北京）有限公司授权不得商用。

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