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本发明提供了一种真空内热量平衡装置，包括：离子源装置、供电装置和供气装置，所述离子源装置可移动地设置在真空腔室内，用于产生等离子体；所述供电装置固定在所述真空腔室的侧壁上，用于为所述离子源装置提供产生等离子体所需要的电流，所述供气装置设置在...
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