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本实用新型公开了一种蒸镀装置。上述的蒸镀装置包括腔体、基板支撑机构以及蒸汽输出机构。基板支撑机构设置于所述腔体内,所述基板支撑机构用于支撑基板;蒸汽输出机构设置于所述腔体内且位于所述基板支撑机构的上方,所述基板支撑机构与所述蒸汽输出机构在水...该专利属于广东聚华印刷显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东聚华印刷显示技术有限公司授权不得商用。
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