蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蒸镀装置。上述的蒸镀装置包括腔体、基板支撑机构以及蒸汽输出机构。基板支撑机构设置于所述腔体内，所述基板支撑机构用于支撑基板；蒸汽输出机构设置于所述腔体内且位于所述基板支撑机构的上方，所述基板支撑机构与所述蒸汽输出机构在水平方向上能够相对运动。上述蒸镀装置能够实现玻璃基板成膜面朝上进行蒸镀工艺，并且针对大尺寸玻璃基板需要使用到更大尺寸的掩膜版可以避免掩膜版形变问题，避免了像素成膜异常等蒸镀不良问题发生，可以很好的保证大尺寸显示器件蒸镀成膜良率。镀成膜良率。镀成膜良率。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置


[0001]本技术涉及显示
，特别是涉及一种蒸镀装置。

技术介绍

[0002]中小尺寸显示器件如OLED显示屏在传统的工业化生产中采用蒸镀工艺进行，该蒸镀工艺进行时，玻璃基板是成膜面朝下进行蒸镀，OLED材料在加热下蒸发，材料分子在高真空状态下朝上向玻璃基板移动并附着在玻璃基板上成膜，同时在蒸镀工艺中有使用到掩膜版，掩膜版的作用是限定材料成膜区域，一般会使用像素型掩膜版和大面积开口型掩膜版。上述蒸镀工艺主要存在如下问题，一是玻璃基板成膜面朝下，因此须使用玻璃基板翻转机构，导致蒸镀设备增加额外的机构；二是限制了蒸镀设备在大尺寸显示器件生产工业化中的应用，即当玻璃基板尺寸变大，需要更大的掩膜版，造成掩膜版形变量大，直接导致像素成膜异常，严重影响产品良率。

技术实现思路

[0003]基于此，针对现有技术中玻璃基板成膜面朝下进行蒸镀以及大尺寸显示器件蒸镀时掩膜版尺寸形变量大导致的像素成膜异常，严重影响产品良率的问题，本技术一实施例提供了一种蒸镀装置。
[0004]本技术公开了一种蒸镀装置，其包括：
[0005本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：腔体；基板支撑机构，设置于所述腔体内，所述基板支撑机构用于支撑基板；以及蒸汽输出机构，设置于所述腔体内且位于所述基板支撑机构的上方，所述基板支撑机构与所述蒸汽输出机构在水平方向上能够相对运动。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括基板驱动机构，所述基板驱动机构设置于所述腔体内，所述基板驱动机构连接于所述基板支撑机构以驱动所述基板支撑机构运动。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述基板驱动机构还能够驱动所述基板支撑机构在所述腔体内沿着竖直方向运动。4.根据权利要求1
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3任意一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括基板承载平台，所述基板承载平台设置于所述基板支撑机构上，所述基板承载平台用于支撑基板。5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括基板移动驱动机构，所述基板移动驱动机构连接于所述基板承载平台以驱动所述基板承载平台沿着水平方向移动。6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括定位机构，所述定位机构设置于所述腔体内，所述定位机构用于与所述基板移动驱动机构配合以实现基板的定位。7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳开郎，孙贤文，付东，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：