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本申请提供了一种微波功率合成系统及微波等离子体化学气相沉积反应系统，包括：注入锁定系统，包括微波固态信号源，功分器，多个磁控管，多个环行器和多个定向耦合器，微波固态信号源经功分器功分后输出的微波信号经环行器注入磁控管内，以对多个磁控管所产生...
该专利属于成都弘钻科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都弘钻科技有限公司授权不得商用。

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