微波功率合成系统及微波等离子体化学气相沉积反应系统技术方案

本申请提供了一种微波功率合成系统及微波等离子体化学气相沉积反应系统，包括：注入锁定系统，包括微波固态信号源，功分器，多个磁控管，多个环行器和多个定向耦合器，微波固态信号源经功分器功分后输出的微波信号经环行器注入磁控管内，以对多个磁控管所产生的微波的频率进行锁定，并将锁定频率后的微波经定向耦合器内耦合到功率合成系统内；相位调节系统，包括移相器，移相器与功分器连接，用于调节微波固态信号源经功分器功分后输出的各路微波的相位；功率合成系统，包括功率合成腔和多个微波馈口，功率合成腔与多个微波馈口连通。通过本实用新型专利技术的系统，具有成本大幅度降低的同时，微波功率合成效率高的优点。微波功率合成效率高的优点。微波功率合成效率高的优点。

【技术实现步骤摘要】
微波功率合成系统及微波等离子体化学气相沉积反应系统


[0001]本申请涉及微波等离子体化学气相沉积
，特别是涉及一种微波功率合成系统及微波等离子体化学气相沉积反应系统。

技术介绍

[0002]目前，微波等离子体化学气相沉积技术利用微波能量使反应气体产生等离子体参与化学气相沉积过程，等离子体可提高化学气相沉积的过程中的反应速率、降低反应温度。是一种在很多薄膜沉积领域常用的技术，如金刚石、石墨烯等。以单晶金刚石为例：
[0003]单晶金刚石是一种古老的晶体材料,经过精心设计和雕琢的单晶金刚石即为钻石，自古以来就由于其炫目的外观和坚硬的品质而被人们视为珍宝。随着科学技术的进步，单晶金刚石的各种优异材料性能逐渐被挖掘出来,这种古材料在近几十年再次成为学者们研究的热点。单晶金刚石具有优良的导热性能，高品质单晶金刚石在室温下热导率可达2000W/(m
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K)，单晶金刚石同时还具有极高的硬度、从紫外到红外的宽波段透过能力、较高的禁带宽度和击穿场强、非常高的载流子迁移率以及极强的耐腐蚀能力。如此众多优良品质集一身的金刚石材料在精本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波功率合成系统，其特征在于，包括：注入锁定系统，包括微波固态信号源，功分器，多个磁控管，多个环行器和多个定向耦合器，所述微波固态信号源经功分器功分后输出的微波信号经所述环行器注入所述磁控管内，以对多个所述磁控管所产生的微波的频率进行锁定，并将锁定频率后的微波经所述定向耦合器耦合到功率合成系统内；相位调节系统，包括移相器，所述移相器与所述功分器连接，用于调节所述微波固态信号源经所述功分器功分后输出的各路微波的相位，实现对于各路磁控管输出微波的相位调节；功率合成系统，包括功率合成腔和多个微波馈口，所述功率合成腔与多个所述微波馈口经所述环行器与所述定向耦合器后连通，所述功率合成腔用于将多个微波馈口馈入的微波经注入锁定频率和注入调节相位之后进行合成。2.根据权利要求1所述的一种微波功率合成系统，其特征在于，多个所述微波馈口相对于所述功率合成腔的中心轴线相互对称。3.根据权利要求1所述的一种微波功率合成系统，其特征在于，所述微波功率合成系统，还包括：控制系统，包括鉴相器、数据采集系统及上位机，所述鉴相器采集各路微波源之间的相位差，经所述上位机反馈给所述移相器，所述移相器根据所述上位机所反馈的数据以调节所述微波固态信号源经功分器功分后输出的各路微波的相位。4.一种微波等离子体化学气相沉积反应系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄劢韦，钟南亚，
申请(专利权)人：成都弘钻科技有限公司，
类型：新型
国别省市：