下载减少光刻胶使用量的方法及其应用的技术资料

文档序号:37364837

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本发明提供了一种减少光刻胶使用量的方法,包括以下步骤:提供衬底,在所述衬底上形成第一光刻胶湿膜;加热所述第一光刻胶湿膜,得到第一光刻胶层;通过第一印刷网版在所述第一光刻胶层上印刷,得到第二光刻胶湿膜;加热所述第二光刻胶湿膜,得到第二光刻胶层...
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