下载层叠结构体的技术资料

文档序号:37359984

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本发明的层叠结构体是在基底基板上具备包含α-Ga2O3或α-Ga2O3系固溶体的具有刚玉型结晶结构的半导体膜的层叠结构体,其中,半导体膜的平均膜厚为10μm以上,半导体膜呈凸状或凹状翘曲,半导体膜的翘曲量为20μm以上64μm以下。64μm...
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