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本发明提供一种用于晶圆清洗的工艺卡盘，包括：卡盘本体，包括圆周带有的若干套筒；套筒内穿设有抓手手指；抓手手指的上端从卡盘本体的上表面伸出，在卡盘本体的上方形成夹持晶圆的空间；卡盘本体下方可转动安装有运动机构；抓手手指的下端从卡盘本体的下表面...
该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司授权不得商用。

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