下载基板的吸取装置的技术资料

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一种基板的吸取装置,尤指一种通过真空吸力来吸取基板、且针对不同孔位、不同大小基板的吸取必须加以调整、以及破真空问题来加以改善的吸取装置。其包括:一设有数个气室且各该气室一端形成缩口的主体;一罩覆于该主体上的覆体,其设有数个与各该气室相连通的...
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