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本发明属于精密光学元件技术领域，提供了一种LaNx/B4C极紫外多层膜反射镜及其制备方法。本发明的LaNx/B4C极紫外多层膜反射镜包括依次层叠设置在基底上的打底层、多周期LaNx/B4C层和保护层；多周期LaNx/B4C层包括若干个层叠设...
该专利属于苏州宏策光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州宏策光电科技有限公司授权不得商用。

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