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石墨烯晶体制备方法技术
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文档序号:37356426
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本发明公开了一种石墨烯晶体制备方法,涉及石墨烯制备技术领域。所述石墨烯晶体制备方法采用等离子体增强的化学气相沉积装置,所述气相沉积装置包括合成腔室和射频电源,该方法包括:将绝缘衬底置于所述合成腔室内,并将所述合成腔室抽至真空后,向所述合成腔...
该专利属于季华实验室所有,仅供学习研究参考,未经过季华实验室授权不得商用。
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