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本发明公开了一种芯片集成式NDIR气体传感器，包括依次键合连接的顶盖组件、第一晶片和第二晶片；所述顶盖组件与第一晶片之间形成气室，所述顶盖组件上设有通气孔，所述第一晶片上设有位于所述气室中的MEMS红外光源和热电堆组件，所述热电堆组件上盖设...
该专利属于深圳市美思先端电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市美思先端电子有限公司授权不得商用。

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