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本申请提供真空舱，用于真空紫外光谱辐射检测，包括：所述真空舱包括至少两个封闭的腔体以及真空泵组；其中，第一腔体用于设置待测光源，第二腔体用于设置所述真空紫外光谱辐射计，所述第二腔体包括至少两个通孔，第一通孔与第一腔体连接，第二通孔与所述真空...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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