真空舱制造技术

本申请提供真空舱，用于真空紫外光谱辐射检测，包括：所述真空舱包括至少两个封闭的腔体以及真空泵组；其中，第一腔体用于设置待测光源，第二腔体用于设置所述真空紫外光谱辐射计，所述第二腔体包括至少两个通孔，第一通孔与第一腔体连接，第二通孔与所述真空泵组连接。本申请提供的真空舱包括用于设置光源的第一腔体，无需利用法兰将光源固定，解决了光源接口不同所导致的装卸操作繁琐的问题。接口不同所导致的装卸操作繁琐的问题。接口不同所导致的装卸操作繁琐的问题。

【技术实现步骤摘要】
真空舱


[0001]本申请涉及光学测试设备校准
，具体涉及一种真空舱。

技术介绍

[0002]精确测量各个波段的真空紫外光谱辐射参数，可以对预测空间天气、太阳风暴形成、飞行器等航天器件的真空紫外波段测试提供很大的帮助，因此，对于真空紫外波段的研究成为了焦点。
[0003]现有技术中，用于真空紫外光谱辐射检测的真空舱通常将光源设置在真空舱外，通过在真空舱设置窗口，将光源所发射的光线通过窗口投射至真空舱内。为了避免光源至真空舱之间的光路受外界环境的影响，需要将光源通过法兰固定在真空舱的窗口处，然而，对于不同种类的光源，其提供的接口往往有所不同，这就导致了现有技术中对不同光源进行测量、标定时，光源的装卸操作繁琐，同时光源的频繁装卸也会影响设备的精度。
[0004]因此，有必要提供一种技术方案，解决真空舱与不同种类的光源不匹配的问题。

技术实现思路

[0005]本申请的目的在于提供一种真空舱，可以适配多种不同类型的光源。
[0006]基于以上目的，本申请提供一种真空舱，用于真空紫外光谱辐射检测，包括：
[0007]所述真空舱包括至少两个封闭的腔体以及真空泵组；
[0008]其中，第一腔体用于设置待测光源，第二腔体用于设置所述真空紫外光谱辐射计的光学系统和探测装置，所述第二腔体包括至少两个通孔，第一通孔与第一腔体连接，第二通孔与所述真空泵组连接，第一腔体包括与第一通孔连接的第三通孔。
[0009]进一步的，所述第一腔体和所述第二腔体通过铜隔板连接。
[0010]进一步的，所述真空泵组通过不锈钢波纹管与所述第二通孔连接。
[0011]进一步的，所述真空泵组包括至少两种真空泵，其中，第一真空泵为低真空泵，在真空泵组中用作前级泵，第二真空泵为超高真空泵，在真空泵组中用作后级泵。
[0012]进一步的，所述第一真空泵为机械泵，所述第二真空泵为分子泵。
[0013]进一步的，所述真空舱设置有第一真空度阈值，当所述第二腔体内的真空度低于所述第一真空度阈值时，所述机械泵工作，当所述第二腔体内的真空度高于所述第一真空度阈值时，启动分子泵；
[0014]所述真空舱还设置有第二真空度阈值，第二真空度阈值高于第一真空度阈值，当第二腔体内的真空度高于第二真空度阈值时，分子泵停止工作。
[0015]进一步的，真空舱还包括监控单元，用于监控第二腔体的真空度。
[0016]进一步的，所述第二腔体的任意腔体壁上设置有至少一个观察窗，所述观察窗采用三层结构，沿第二腔体内壁向外的方向，所述观察窗采用的三层结构分别为防污玻璃、石英玻璃、铅玻璃。
[0017]进一步的，所述第一腔体中设置有支撑组件，光源设置在支撑组件上，通过调节支
撑组件实现调节光源的位置和角度。
[0018]进一步的，所述支撑组件通过光学积木搭建。
[0019]本申请提供了一种真空舱，提供了用于设置光源的第一腔体，在对光源进行测量、标定时，由于光源处于真空环境中，因此无需利用法兰将光源固定，解决了光源接口不同所导致的装卸操作繁琐的问题。
附图说明
[0020]图1为本申请一种实施例提供的真空舱示意图；
[0021]图2为本申请实施例提供的真空泵组示意图；
[0022]图3为本申请一种实施例提供的真空紫外光谱辐射检测装置示意图；
[0023]图4为本申请一种实施例提供的紫外光谱辐射计示意图；
[0024]图5为本申请一种实施例提供的控制部示意图。
具体实施方式
[0025]以下将结合附图所示的具体实施方式对本专利技术进行详细描述，但这些实施方式并不限制本专利技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本专利技术的保护范围内。
[0026]结合图1至3。作为一种可选的实现方式，本申请提供的真空舱12包括：至少两个封闭的腔体以及真空泵组124。
[0027]其中，第一腔体121为光源腔体，用于设置待测光源，第二腔体122为光学系统腔体，用于设置实验所需的光学系统。由于本申请的目的在于提供一种真空紫外光谱辐射检测装置，因此，在本申请实施例中第二腔体122用于设置紫外光谱辐射计11。
[0028]为了避免外界环境的干扰，作为一种可选的实现方式，本申请实施例提供的第一腔体121和第二腔体122采用非透明材质。例如，第一腔体121和第二腔体122可以采用不锈钢材质。
[0029]第二腔体122包括至少两个通孔，其中，第一通孔作为光线入射通孔，用于与第一腔体121连接。第二通孔作为抽真空通孔，用于与真空泵组124连接。
[0030]第一腔体121包括与第一通孔连接的第三通孔，设置与第一腔体121内部的光源所发出的光线通过第一通孔进入第二腔体122。
[0031]作为一种可选的实现方式，真空泵组124和第二通孔之间可以采用不锈钢波纹管125连接，从而减少真空泵组124工作时产生的振动对腔体的影响。
[0032]根据以上说明可知，本申请实施例提供的真空紫外光谱辐射检测装置通过第一通孔实现第一腔体121与第二腔体122之间的联通，因此，当真空泵组124工作时，可以实现第一腔体121的真空度与第二腔体122的真空度相同。
[0033]如图2所示，作为一种可选的实现方式，本申请实施例提供的真空紫外光谱辐射检测装置采用两级真空系统。具体的，真空泵组124包括至少两种真空泵。其中，第一真空泵1241为低真空泵，在真空泵组124中用作前级泵，第二真空泵1242为超高真空泵，在真空泵组124中用作后级泵。
[0034]具体的，在本申请实施例中，第一真空泵1241可以采用机械泵，第二真空泵1242可
以采用分子泵。分子泵是靠高速转动的转子携带气体分子而获得高真空、超高真空的一种机械真空泵，工作压强范围为1～10
‑8帕。
[0035]作为一种可选的实现方式，在第一真空泵1241和第二真空泵1242之间可以采用不锈钢波纹管125连接，从而减少真空泵组124工作时，第一真空泵1241和第二真空泵1242之间的振动。
[0036]作为一种可选的实现方式，为了确保第一腔体121和第二腔体122之间的连接处的气密性。
[0037]作为一种可选的实现方式，可以在第二腔体122的任意腔体壁上设置至少一个第一排线孔1222，用于部署引线。
[0038]作为一种可选的实现方式，本申请实施例在第二腔体122中部署的引线包括至少两种类型。其中，第一引线用于实现紫外光谱辐射计11与电源之间的电连接，第二引线用于实现紫外光谱辐射计11与控制部13之间的数据连接。紫外光谱辐射计11采集到的实验数据通过第二引线传输至控制部13，控制部13可以用于对采集到的实验数据进行数据处理。
[0039]为了确保第二腔体122的气密性，在完成引线部署后需要对第一排线孔1222进行密封处理。
[0040]进一步的，为了对本申请提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空舱，用于紫外光谱辐射检测，其特征在于，包括：所述真空舱包括至少两个封闭的腔体以及真空泵组；其中，第一腔体用于设置待测光源，第二腔体用于设置紫外光谱辐射计，所述第二腔体包括至少两个通孔，第一通孔与第一腔体连接，第二通孔与所述真空泵组连接。2.根据权利要求1所述的真空舱，其特征在于，所述真空泵组通过不锈钢波纹管与所述第二通孔连接。3.根据权利要求1所述的真空舱，其特征在于，所述真空泵组包括至少两种真空泵，其中，第一真空泵为低真空泵，在真空泵组中用作前级泵，第二真空泵为超高真空泵，在真空泵组中用作后级泵。4.根据权利要求3所述的真空舱，其特征在于，所述第一真空泵为机械泵，所述第二真空泵为分子泵。5.根据权利要求4所述的真空舱，其特征在于，所述真空舱设置有第一真空度阈值，当所述第二腔体内的真空度低于所述第一真空度阈...

【专利技术属性】
技术研发人员：方彬，赵天琦，金尚忠，占春连，邹艳霞，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：新型
国别省市：