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本实用新型提出了一种晶圆片复合托盘,其包括托盘本体,还包括若干个承载件,托盘本体的一侧开设有若干个通孔;若干个承载件均为一端开口一端封闭的结构,且各承载件滑动设置在相对应的通孔内;其中,承载件朝着远离开口的一侧延伸,并穿过通孔伸出到托盘本体...该专利属于武汉锐晶激光芯片技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉锐晶激光芯片技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型提出了一种晶圆片复合托盘,其包括托盘本体,还包括若干个承载件,托盘本体的一侧开设有若干个通孔;若干个承载件均为一端开口一端封闭的结构,且各承载件滑动设置在相对应的通孔内;其中,承载件朝着远离开口的一侧延伸,并穿过通孔伸出到托盘本体...