下载一种光刻去胶废液综合利用的方法的技术资料

文档序号:37353056

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本发明属于有机废液回收技术领域,具体涉及一种光刻去胶废液综合利用的方法。用硫酸水溶液使光刻去胶废液的中的乙醇胺、异丙醇胺转化为铵盐;然后送入刮板薄膜蒸发器进行减压蒸发,馏出液含水、二甲基亚砜、N
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