温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开一种单晶薄膜设备用托盘组件及单晶薄膜设备。该托盘组件包括：支撑筒，所述支撑筒上配置有用以连接托盘的突出部，所述突出部上配置有导向面，托盘，所述托盘呈中空的环状，其一侧配置有与所述突出部的导向面相匹配的安装导向面，所述托盘的内侧配置...
该专利属于芯三代半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯三代半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。