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一种测试结构，包括：衬底；位于所述衬底上的若干相邻样品单元，各所述若干样品单元包括待测样品以及第一布线结构；位于所述衬底上的若干布线单元，各所述布线单元包括第二布线结构，所述第二布线结构与相邻两个样品单元的待测样品或第一布线结构连接。通过样...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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