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本发明提供一种对准方法、马赛克式芯片结构/滤波器的制备方法，其中，对准方法包括当前光刻对准工艺前，若像素感光单元的晶圆正面的对准图形标记被遮盖，则采用干法刻蚀的方法显露出被遮盖的对准图形标记；采用正面对准的方法进行光刻对准工艺。马赛克式芯片...
该专利属于天津津航技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过天津津航技术物理研究所授权不得商用。

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