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基板处理装置具有：筒状的外管，其上端被封堵且下端开口；内管，其设在外管的内部，形成为上端被封堵且下端开口的筒状，能够在内部对基板进行处理；形成为筒状的歧管，其与外管的下端和内管的下端连接，且与内管的处理室连通，具备相对于内管与外管之间的环状...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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