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本发明公开了一种扩晶解胶设备,扩晶解胶设备包括第一取料组件和撕膜组件,第一取料组件用于将物料传送至撕膜位置,物料包括UV膜、晶片和保护膜,晶片和保护膜粘接于UV膜的厚度同侧,且晶片位于UV膜和保护膜之间;撕膜组件用于将处于撕膜位置的保护膜剥...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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