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本发明属于光刻胶技术领域，本发明公开了一种卤代改性光刻胶树脂材料及其制备方法。本发明利用卤代方法对聚合物进行改性，制备出了曝光性能优异，且卤代官能度可调，可实现树脂玻璃化温度以及光刻胶曝光灵敏度和高宽比可调控的光刻胶用树脂材料。本发明还提供...
该专利属于中国科学院长春应用化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春应用化学研究所授权不得商用。

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