温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种载具和抛光设备。载具包括本体以及芯片槽。本体包括抛光侧和组装侧。所述组装侧用于与抛光设备连接。芯片槽设置于所述抛光侧。所述芯片槽包括底面。所述底面用于与裸晶芯片可拆卸连接。所述芯片槽的深度小于所述裸晶芯片的厚度。本申请的载具设...
该专利属于之江实验室所有，仅供学习研究参考，未经过之江实验室授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。