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一种双源共蒸制备InSeI膜的方法技术
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文档序号:37346877
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本发明公开了一种双源共蒸制备InSeI膜的方法。通过分别同时蒸发InI3和In2Se3,通过称量蒸发前后基底的质量,进而计算出沉积到基底上的InI3和In2Se3的质量,进而标定InI3和In2Se3的实际蒸发速率,使其以等摩尔比的速率蒸发...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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