温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例公开了用于线切割硅棒的装置、设备、硅片及其制造方法，所述装置包括：线轴本体；设置在所述线轴本体的圆周表面上的导引模块，所述导引模块包括彼此平行且间隔开的多个导引槽，用于供切割线缠绕以形成彼此平行的多个切割线段组成的阵列，所述阵列...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。