下载基板处理设备和控制基板处理设备的方法的技术资料

文档序号:37346054

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本发明构思提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括:头部单元,所述头部单元被配置为将墨水排放到基板;供应单元,所述供应单元被配置为向所述头部单元供应所述墨水并且包括具有内部空间的贮存器;以及压力调整单元,所述压力调整单元被配置为调整所述...
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