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本实用新型提供了一种用于化学机械抛光的承载组件，包括：减振模块、驱动模块和承载头；其中，所述减振模块包括内部具有空腔的主轴以及位于所述空腔内的第一减振单元，所述第一减振单元包括芯体和配置于所述芯体的外壁处的多个阻尼块，所述阻尼块挤压所述空腔...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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