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本实用新型提供了一种用于化学机械抛光的装置，包括：抛光主体、护罩和注液组件；所述护罩围绕所述抛光主体设置，所述护罩的内部具有环形的流道，所述流道的底部开设有与外部连通的槽；所述注液组件与所述护罩可拆卸地连接，用于向所述流道内注液，液体由所述...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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