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制造电子装置时处理金属表面的方法制造方法及图纸
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文档序号:3733620
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通过用能量低于可以改变金属表面结构的能量的激光束照射金属表面,可以在不用复杂步骤并对电子部件或电子装置没有不利影响的情况下从金属表面将氧化膜(和残留有机物、碳等,如果有的话)简单除去,从而清洁金属表面。...
该专利属于株式会社日立制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立制作所授权不得商用。
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