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本发明涉及一种含碳化硅涂层的石墨复合坩埚及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：（1）含氧气氛下热处理石墨坩埚的内腔；（2）热处理完成后，通过物理气相传输于石墨坩埚的内腔表面形成SiC涂层，得到所述含碳化硅涂层的石墨复合坩埚。本发明制...
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