下载光学邻近校正方法、装置、计算机设备和存储介质的技术资料

文档序号:37334946

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本申请提供了一种光学邻近校正方法、装置、计算机设备和存储介质,该方法包括:通过预设的边缘校正模型获取设计集成电路版图中各切分线段的初始偏移值;基于初始偏移值,通过MB
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该专利属于墨研计算科学(南京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过墨研计算科学(南京)有限公司授权不得商用。

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