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图形形成法制造技术
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文档序号:3733376
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一种图形形成法包括下列工序:在基板上形成不溶于刻蚀溶液的金属电镀薄膜;在电镀薄膜上形成光致抗蚀薄膜;用预定的光掩模图形将光致抗蚀薄膜曝光然后显影,由此制取光致抗蚀图形;用光致抗蚀图形作为掩模制取电镀薄膜图形;完全清除光致抗蚀图形;用电镀薄膜...
该专利属于三星航空产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星航空产业株式会社授权不得商用。
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