下载薄膜晶体管基板及电子器件的技术资料

文档序号:37333555

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本发明提供了一种薄膜晶体管基板及电子器件,所述薄膜晶体管基板包括:衬底基板;凸台,所述凸台包括底切结构,所述底切结构位于所述凸台的侧壁上;填充物,位于所述底切结构内;有源层,位于所述凸台和所述衬底基板上,所述有源层包括沟道,所述沟道覆盖所述...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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