下载半导体功率器件的制备方法和装置的技术资料

文档序号:37333228

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本发明提供了一种半导体功率器件的制备方法和装置,其中,该方法包括以下步骤:采用覆铜工艺将第一导电金属层和第二导电金属层铺设在陶瓷层的两侧,并在铺设完成后,依次进行高温加热处理和冷却结晶处理,以获取覆铜基板,其中,第一导电金属层的厚度小于陶瓷...
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