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该转台机包括：一个圆台（Ｒ），它具有在圆周方向上分布设置的多个衬底接收器（ＳＡ）；一个输入站（ＥＳ），用于将衬底（Ｓ）传送到衬底接收器（ＳＡ）；一个对衬底接收器（ＳＡ）中的衬底（Ｓ）机械定中心和／或作位置识别的站；多个安装站（ＢＳ１至ＢＳ５...
该专利属于西门子公司所有，仅供学习研究参考，未经过西门子公司授权不得商用。

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