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用于晶上系统的集成基板结构及晶上系统技术方案
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下载用于晶上系统的集成基板结构及晶上系统的技术资料
文档序号:37332595
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本申请提供一种用于晶上系统的集成基板结构及晶上系统。该集成基板结构包括晶圆基板及重布线层。晶圆基板包括彼此连通的至少两层金属层,至少两层金属层包括位于顶层的微凸点阵列、及位于底层的微焊盘阵列。微凸点阵列与微焊盘阵列按照预定关系对应连接以至少...
该专利属于之江实验室所有,仅供学习研究参考,未经过之江实验室授权不得商用。
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