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本发明属于溅射靶材技术领域，具体涉及一种钼残靶再利用的方法，所述方法包括以下步骤：(1)将钼残靶切割为钼块；(2)将步骤(1)得到的钼块进行表面预处理；(3)将步骤(2)得到的钼块进行真空等离子喷涂；(4)将步骤(3)得到的钼块与钼粉混合装...
该专利属于丰联科光电（洛阳）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过丰联科光电（洛阳）股份有限公司授权不得商用。

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