下载一种用于集成电路的厚膜光刻胶显影液组合物的技术资料

文档序号:37332407

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本发明公开了一种用于集成电路的厚膜光刻胶显影液组合物,属于湿电子化学品领域。按质量百分数之和为100%计,所述组合物中各组分及其所占质量百分数为:无机碱0.1
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