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本发明涉及石英表面加工技术领域，尤其涉及一种改善光掩模石英玻璃基板表面缺陷的方法，该方法利用激光对光掩模石英玻璃基板表面缺陷区域进行退火处理，以使光掩模石英玻璃基板表面薄层熔融，融化的石英玻璃流动使石英玻璃基板表面平整化，通过控制光掩模石英...
该专利属于上海传芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海传芯半导体有限公司授权不得商用。

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