下载晶圆级声表面波滤波器及射频模组芯片的技术资料

文档序号:37331468

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本发明提供了一种晶圆级声表面波滤波器及射频模组芯片,晶圆级声表面波滤波器包括:衬底;插指组件,插指组件包括通过光刻丝印形成于衬底上插指、汇流条和金属板;围堰,围堰固定于衬底;盖板,盖板盖设于围堰上,盖板设有多个贯穿其上的通孔;金属柱,多个金...
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