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本公开提供一种热场组件、单晶炉、漏液检测装置及其方法，热场组件包括：底加热器，底加热器包括相背设置的顶面和底面，底加热器上设有贯穿顶面和底面的第一螺栓孔；呈托盘状的底部盖板，底部盖板包括相背的顶盘面和底盘面，底加热器设置于顶盘面且底面直接接...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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