下载一种芯片边缘放置误差确定方法、装置、设备、存储介质的技术资料

文档序号:37331176

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本申请公开了一种芯片边缘放置误差确定方法、装置、设备、存储介质,涉及光学邻近校正技术领域,包括:对芯片仿真的光刻胶图形边缘进行像素化处理,获取目标像素;利用预设编码方式对目标像素进行编码,获取目标像素编码;对目标像素编码进行适应性评估,并从...
该专利属于华芯程(杭州)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华芯程(杭州)科技有限公司授权不得商用。

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